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超纯水级臭氧发生器
- 发布日期：2022-02-09 10:33:50
- 详细介绍
超纯(chun)水级 臭氧发生器
超纯水臭氧发(fa)生(sheng)器(qi)(qi) 半导(dao)体(ti)清洗用(yong)超纯水制备 光伏(fu)用(yong)水臭氧发(fa)生(sheng)器(qi)(qi)
一、概(gai)述(shu)
超纯臭(chou)氧水机采用高(gao)浓度、超纯净(jing)、深度精(jing)细工艺的(de)臭(chou)氧实(shi)现技(ji)术是该发生(sheng)(sheng)器(qi)实(shi)现的(de)基础。臭(chou)氧被电子工业用于形成 CVD 和(he) ALD 薄膜、氧化(hua)物生(sheng)(sheng)长、光(guang)刻胶去除和(he)多种清洁(jie)(jie)应用。GTC发生(sheng)(sheng)器(qi)能够产生(sheng)(sheng)高(gao)浓度、大量(liang)(liang)流量(liang)(liang)、高(gao)压力的(de)超洁(jie)(jie)净(jing)臭(chou)氧，整体模(mo)块化(hua)，结构紧凑，简洁(jie)(jie)、可视化(hua)外(wai)观。
二、特点
1、臭氧浓度高，浓度高达400mg/L；
2、臭氧输出压力高，压力高达3.0bar；
3、高气体流量；
4、采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免、减少金属污染及析出；
5、水冷型，无氮气掺加技术；
6、获得专利的臭氧专用结构设计，确保放电均匀一致性，保证系统性能更稳定；
